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Oxydation et diffusion

Quelle est l’unité du coefficient de diffusion D ?

  1. Acm⁻³
  2. Bcm/s
  3. Ccm²/s
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Réponse : C. cm²/s

Le coefficient de diffusion exprime la surface sur laquelle on s’étend par unité de temps ; son unité est le cm²/s (ou m²/s). La distance caractéristique de diffusion est √(Dt) : multiplier des cm²/s par un temps en s et prendre la racine carrée donne une longueur. Par exemple, le bore dans le silicium à 1000 ℃ a D ≈ 2×10⁻¹⁴ cm²/s environ et s’étend en 1 heure d’environ √(Dt) ≈ 0.1 µm.

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