산화와 확산
Deal-Grove 모델에 따르면 열산화는 어디에서 진행됩니까?
- A산화막 최표면에서 실리콘 원자와 산화제가 반응한다
- B실리콘 원자가 산화막 표면까지 확산하여 반응한다
- C산화제가 산화막 속을 확산하여 Si/SiO2 계면에서 실리콘과 반응한다
정답과 해설 보기
정답: C. 산화제가 산화막 속을 확산하여 Si/SiO2 계면에서 실리콘과 반응한다
Deal-Grove 모델(1965년)에서는 산화제가 기상에서 산화막 표면으로 흡수되고, 막 속을 확산하여 실리콘과의 계면에서 반응해 새로운 산화막이 만들어진다고 봅니다. 따라서 산화막은 계면 쪽에서 성장하며 계면은 항상 새로운 면이 됩니다. 산화막이 두꺼워질수록 확산 거리가 길어져 성장이 느려집니다. 이 세 단계의 플럭스를 같다고 놓아, 선형 법칙과 포물선 법칙을 하나의 식으로 나타냈습니다.