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Oxydation et diffusion

Quelle méthode forme rapidement un oxyde mince de bonne qualité en faisant réagir hydrogène et oxygène près de la surface de la plaquette ?

  1. APulvérisation cathodique
  2. BOxydation ISSG (génération de vapeur in situ)
  3. CGravure par couche atomique
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Réponse : B. Oxydation ISSG (génération de vapeur in situ)

Dans l’oxydation ISSG, de petites quantités d’hydrogène et d’oxygène réagissent uniquement près de la surface de la plaquette chauffée, dans une chambre à pression réduite d’environ 1000 Pa. Les radicaux oxygène (O) produits, très réactifs, forment rapidement un oxyde mince, dense et à bonne interface. Peu sensible à l’orientation cristalline, elle oxyde de façon arrondie et uniforme les coins des tranchées STI ; elle sert pour les oxydes de liner, les oxydes de grille et la réoxydation des nitrures.

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