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Oxydation et diffusion

Quel est l’ordre de grandeur du champ de claquage d’un oxyde thermique (SiO2) de bonne qualité ?

  1. AEnviron 10 MV/cm
  2. BEnviron 10 V/cm
  3. CEnviron 10 kV/cm
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Réponse : A. Environ 10 MV/cm

Le champ de claquage d’un oxyde thermique de bonne qualité est d’environ 10 MV/cm ; un film de 10 nm claquerait donc vers 10 V. Cependant, même sous un champ plus faible, une application prolongée crée progressivement des défauts menant au claquage (claquage diélectrique dépendant du temps, TDDB) ; les dispositifs réels fonctionnent donc à quelques MV/cm au plus pour tenir 10 ans. Pour des films encore plus minces, le courant tunnel devient important et la fuite pose problème avant le claquage.

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