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Oxydation et diffusion

Quelle description de l’oxydation pyrogénique (oxydation par combustion d’hydrogène) est correcte ?

  1. AMéthode d’oxydation humide qui oxyde avec une vapeur d’eau de haute pureté produite par combustion d’hydrogène et d’oxygène
  2. BMéthode d’oxydation sèche qui oxyde uniquement avec de l’oxygène sec
  3. CMéthode de dépôt d’oxyde par CVD
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Réponse : A. Méthode d’oxydation humide qui oxyde avec une vapeur d’eau de haute pureté produite par combustion d’hydrogène et d’oxygène

Dans l’oxydation pyrogénique, l’hydrogène et l’oxygène sont brûlés à l’entrée du four (torche) pour produire de la vapeur d’eau, qui oxyde le silicium. Par rapport à l’envoi de vapeur obtenue en faisant bouillir de l’eau pure, la contamination est moindre et la quantité de vapeur se contrôle précisément par les débits de gaz. Un reliquat d’hydrogène présentant un risque d’explosion, la conception de sécurité prévoit un léger excès d’oxygène. Elle a été largement utilisée pour former les oxydes de champ épais et les oxydes de masquage.

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