Oxydation et diffusion
Quel problème survient lorsque l’oxyde de grille contient des ions mobiles comme les ions sodium ?
- AL’oxyde émet de la lumière
- BLes ions se déplacent sous l’effet du champ électrique ou de la température, et la tension de seuil varie
- CLa résistance mécanique de l’oxyde augmente
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Réponse : B. Les ions se déplacent sous l’effet du champ électrique ou de la température, et la tension de seuil varie
Les ions de métaux alcalins comme le sodium se déplacent facilement dans l’oxyde ; lorsqu’ils migrent vers l’interface sous l’effet du champ électrique ou de la température (par exemple vers 200 ℃), ils agissent comme des charges positives et font varier la tension de seuil. C’était la principale cause d’instabilité des dispositifs MOS des années 1960, et ils proviennent aussi de la sueur humaine ou des outils. Le contrôle de la contamination en salle blanche, l’oxydation chlorée et le piégeage par verre au phosphore (PSG) ont permis de les maîtriser et de rendre la technologie MOS pratique.