계측과 분석
여러 다른 계측 기법(광학식·CD-SEM·AFM 등)의 데이터를 조합하여, 하나의 기법만 사용할 때보다 정확하게 치수나 형상을 구하는 개념을 무엇이라고 하는가?
- A블라인드 계측
- B하이브리드 메트롤로지
- C싱글 샷
정답과 해설 보기
정답: B. 하이브리드 메트롤로지
첨단 미세 구조에서는 하나의 계측 기법만으로는 측정할 수 있는 양이나 정밀도에 한계가 있습니다. 하이브리드 메트롤로지에서는 예를 들어 XRR로 정밀하게 구한 막 두께를 광학식 치수 계측(OCD)의 해석 모델에 고정값으로 넣고 나머지 형상 값을 안정적으로 구하는 등, 서로의 약점을 보완하여 더 정확한 결과를 얻습니다. 기법별로 잘하는 양을 파악하여 조합하는 것이 중요합니다.
- A. 그런 이름의 일반적인 계측 개념은 아닙니다.
- B. 올바릅니다. 여러 기법을 조합하여 정밀도를 높이는 개념입니다.
- C. 그런 이름의 일반적인 계측 개념은 아닙니다.