Wie heißt das Konzept, Daten mehrerer unterschiedlicher Messverfahren (optisch, CD-SEM, AFM usw.) zu kombinieren, um Maße und Formen genauer als mit einem einzigen Verfahren zu bestimmen?

Antwort: B. Hybrid-Metrologie

Bei modernsten feinen Strukturen sind mit einem einzigen Messverfahren messbare Größen und Genauigkeit begrenzt. Bei der Hybrid-Metrologie wird z. B. die mit XRR genau bestimmte Schichtdicke als fester Wert in das Analysemodell der optischen Maßmessung (OCD) eingesetzt, sodass die übrigen Formwerte stabil bestimmt werden; die Schwächen ergänzen sich, und das Ergebnis wird genauer. Wichtig ist, die jeweiligen Stärken der Verfahren bei den Messgrößen zu erkennen und zu kombinieren.