Hoe heet de benadering waarbij gegevens van meerdere verschillende meetmethoden (optisch, CD-SEM, AFM enz.) worden gecombineerd om afmetingen en vorm nauwkeuriger te bepalen dan met één methode alleen?

Antwoord: B. Hybride metrologie

Bij geavanceerde fijne structuren hebben afzonderlijke meetmethoden grenzen in meetbare grootheden en nauwkeurigheid. Bij hybride metrologie wordt bijvoorbeeld de met XRR nauwkeurig bepaalde laagdikte als vaste waarde in het analysemodel van optische maatmeting (OCD) gestopt, zodat de overige vormwaarden stabiel kunnen worden bepaald; zo compenseren de methoden elkaars zwakke punten en wordt een nauwkeuriger resultaat verkregen. Het is belangrijk te onderscheiden waarin elke methode goed is en die te combineren.