Métrologie et analyse
En inspection optique des défauts, pourquoi la détection devient-elle brusquement difficile lorsque les particules rapetissent ?
- AL’intensité diffusée par une particule bien plus petite que la longueur d’onde diminue fortement, environ comme la puissance 6 du diamètre
- BLes petites particules ne réfléchissent pas la lumière
- CLes petites particules sont toutes transparentes
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Réponse : A. L’intensité diffusée par une particule bien plus petite que la longueur d’onde diminue fortement, environ comme la puissance 6 du diamètre
L’intensité de la lumière diffusée par une particule bien plus petite que la longueur d’onde (diffusion de Rayleigh) est proportionnelle environ à la puissance 6 du diamètre. Si le diamètre est divisé par deux, la lumière diffusée tombe à environ 1/64 et se noie dans le bruit de fond dû à la rugosité de surface et aux motifs. On utilise donc des longueurs d’onde courtes et des sources intenses, des optiques qui réduisent le bruit, et l’on combine l’inspection par faisceau d’électrons pour les défauts encore plus petits.