Métrologie et analyse

Quelle méthode localise les défaillances en détectant avec une grande sensibilité les faibles échauffements d’une puce en fonctionnement, par intégration d’images thermiques synchronisées sur une modulation périodique de la puissance appliquée ?

  1. AThermographie lock-in
  2. BEllipsométrie
  3. CSIMS
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : A. Thermographie lock-in

La thermographie lock-in commute périodiquement la tension appliquée à la puce et n’intègre que les images thermiques infrarouges synchronisées sur cette période, pour localiser de faibles échauffements de l’ordre du µW dus par exemple à des courts-circuits. Le bruit non corrélé à la période s’annule par intégration, d’où une sensibilité supérieure de plusieurs ordres de grandeur à celle d’une image thermique ordinaire. Elle permet de circonscrire la position même depuis l’extérieur du boîtier et s’utilise au début de l’analyse de défaillance.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Métrologie et analyse

  1. Quelle méthode envoie une impulsion rapide dans les interconnexions d’un boîtier ou d’un substrat et déduit de la forme d’onde réfléchie la position des coupures ou courts-circuits ?
  2. En inspection optique des défauts, pourquoi la détection devient-elle brusquement difficile lorsque les particules rapetissent ?
  3. Comment s’appelle l’approche qui combine les données de plusieurs méthodes de mesure différentes (optique, CD-SEM, AFM, etc.) pour déterminer les dimensions et la forme plus précisément qu’avec une seule méthode ?
  4. Quel est le principe du microscope électronique à balayage (SEM) ?
  5. Que mesure principalement l’ellipsométrie (ellipsométrie spectroscopique) ?

Comparatifs sur ce thème