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Métrologie et analyse

Quel est le but principal des mesures et inspections effectuées en cours de procédé sur une ligne de fabrication ?

  1. ARetarder systématiquement le procédé
  2. BDétecter et arrêter tôt les anomalies de procédé pour éviter de continuer à produire massivement des pièces défectueuses
  3. CAugmenter le poids du produit
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Réponse : B. Détecter et arrêter tôt les anomalies de procédé pour éviter de continuer à produire massivement des pièces défectueuses

Un LSI avancé passe par plus de 1000 étapes et demande plusieurs mois de fabrication. Si un problème n’est constaté qu’à la fin, toutes les plaquettes traitées entre-temps sont défectueuses. Mesurer et inspecter en cours de procédé permet de détecter tôt les anomalies, d’arrêter l’équipement ou l’étape en cause et de corriger les conditions, ce qui limite les pertes. Les résultats servent aussi à la commande qui corrige les conditions de la plaquette suivante.

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Autres questions sur Métrologie et analyse

  1. Pourquoi, en métrologie de production, mesure-t-on souvent seulement une sélection plutôt que toutes les plaquettes ou tous les points ?
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