Messtechnik und Analytik

Wie heißt die Messung, bei der periodische Strukturen mit Licht beleuchtet werden und Linienbreite und Querschnittsform aus dem Vergleich der Spektren des reflektierten und gebeugten Lichts mit einem Modell bestimmt werden?

  1. ASIMS
  2. BScatterometrie (optische CD-Messung, OCD)
  3. CTEM-Beobachtung
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Antwort: B. Scatterometrie (optische CD-Messung, OCD)

Die Scatterometrie misst das Spektrum des von einer periodischen Teststruktur reflektierten und gebeugten Lichts, modelliert die Form und gleicht es mit dem per elektromagnetischer Berechnung ermittelten Spektrum ab, um Linienbreite, Höhe, Seitenwandwinkel usw. zu bestimmen. Da sie zerstörungsfrei und schnell ist und sogar Informationen zur Querschnittsform liefert, wird sie breit zur Maßkontrolle in Serienfertigungslinien verwendet. Ohne ein korrektes Modell entstehen jedoch falsche Ergebnisse. SIMS und TEM sind zerstörende Analysen.

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