웨이퍼 위의 이물이나 패턴 결함을 검출하는 결함 검사 장비에서 사용되는 대표적인 원리는?

정답: A. 빛을 쏘았을 때의 산란광 검출이나 이웃한 다이의 이미지 비교

이물이 있으면 쏘아준 빛이 산란되므로, 산란광을 검출하여 이물을 찾습니다. 패턴 결함은 같은 패턴을 가진 이웃 다이의 이미지와 비교하여 차이가 있는 곳을 결함으로 판정합니다. 두 다이만 비교해서는 어느 쪽이 불량인지 알 수 없으므로, 세 다이를 비교하여 다수결로 판정합니다. 검출된 결함은 리뷰 SEM으로 자세히 관찰하여 분류합니다. 무게나 소리로는 결함을 알 수 없습니다.