Lithographie

Quelle description d'une résine photosensible positive est correcte ?

  1. ALes zones exposées subsistent après développement
  2. BLes zones exposées sont dissoutes et éliminées au développement
  3. CTout se dissout au développement, que la zone soit exposée ou non
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Réponse : B. Les zones exposées sont dissoutes et éliminées au développement

Dans une résine positive, les zones exposées deviennent solubles dans le développeur et sont éliminées au développement ; c'est donc le motif des zones protégées de la lumière par le masque qui subsiste. Les exemples types sont les résines novolaques pour la raie i et les résines à amplification chimique pour le KrF et l'ArF, développées dans un développeur alcalin (solution aqueuse de TMAH). Leur excellente résolution en fait le courant dominant actuel. Les résines où les zones exposées subsistent sont négatives, sur le même principe que le négatif et le positif en photographie.

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