Lithografie

Was bedeutet das in der Lithografie kontrollierte „CDU“?

  1. ADie Versorgungsspannung der Belichtungsanlage
  2. BDie Streuung der Strukturmaße (CD) über den Wafer oder innerhalb eines Shots
  3. CDie Gleichmäßigkeit der Farbe des Resists
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Antwort: B. Die Streuung der Strukturmaße (CD) über den Wafer oder innerhalb eines Shots

CD (Critical Dimension) ist ein wichtiges Maß wie die Linienbreite, CDU (CD Uniformity) die Größe der Streuung (3σ) davon. Bei fortgeschrittenen Produkten muss die Streuung bei Linienbreiten von einigen zehn nm auf etwa 1 nm begrenzt werden. Da die CD-Streuung unmittelbar in die Streuung der Transistoreigenschaften eingeht, wird sie klein gehalten, indem die Dosis innerhalb des Shots korrigiert und die Temperaturverteilung des PEB angeglichen wird. Gemessen wird mit CD-SEM und Scatterometrie.

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