Comment appelle-t-on les repères placés sur le wafer pour superposer précisément le motif suivant au motif réalisé à l'étape précédente lors de l'exposition ?

Réponse : A. Marques d'alignement

Les marques d'alignement sont des motifs, en réseau notamment, réalisés à l'extérieur des puces sur le wafer (sur les chemins de découpe, etc.) pour l'alignement. L'équipement d'exposition les détecte par diffraction de la lumière notamment, corrige la position, la rotation et la dilatation du wafer, voire ses déformations locales, et superpose précisément la couche suivante au motif de la couche précédente. On mesure parfois plusieurs dizaines de marques par wafer, et les marques sont conçues pour ne pas être altérées par l'usinage.