Français
Menu

Lithographie

Quelle entreprise fournit de fait seule les équipements de lithographie EUV ?

  1. AIntel (États-Unis)
  2. BASML (Pays-Bas)
  3. CTSMC (Taïwan)
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : B. ASML (Pays-Bas)

Les équipements de lithographie EUV sont développés et fournis de fait par la seule société néerlandaise ASML. Ils réunissent des technologies de plusieurs pays, comme les miroirs multicouches de l'allemand Zeiss et la source à étain de l'américain Cymer, comptent plus de 100 000 pièces et coûteraient plus de 20 milliards de yens l'unité (de l'ordre de 50 milliards pour le High-NA). Leur fourniture conditionnant la capacité de production des semi-conducteurs avancés, ils sont aussi soumis à des contrôles à l'exportation. TSMC et Intel sont des acheteurs et utilisateurs de ces équipements.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Lithographie

  1. Quelle est la longueur d'onde de la lumière utilisée en lithographie par laser excimère KrF ?
  2. Quel est le principal objectif du traitement de la surface du wafer par HMDS notamment avant l'enduction de la résine ?
  3. Que signifie le « demi-pas » (half pitch), utilisé comme indicateur de miniaturisation ?
  4. Comment appelle-t-on les repères placés sur le wafer pour superposer précisément le motif suivant au motif réalisé à l'étape précédente lors de l'exposition ?
  5. Que signifie la « CDU » contrôlée en lithographie ?

Comparatifs sur ce thème