Lithografie

Welches Unternehmen liefert EUV-Belichtungsanlagen praktisch als einziger Anbieter?

  1. AIntel (USA)
  2. BASML (Niederlande)
  3. CTSMC (Taiwan)
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Antwort: B. ASML (Niederlande)

EUV-Belichtungsanlagen werden praktisch von einem einzigen Unternehmen entwickelt und geliefert, dem niederländischen ASML. Die Anlage vereint Technologien verschiedener Länder wie die Vielschichtspiegel von Zeiss aus Deutschland und die zinnbasierte Lichtquelle von Cymer aus den USA, besteht aus über 100.000 Teilen und kostet pro Anlage über 20 Milliarden Yen (High-NA etwa 50 Milliarden Yen). Da ihre Lieferung die Produktionskapazität für fortgeschrittene Halbleiter bestimmt, unterliegt sie auch Exportkontrollen. TSMC und Intel kaufen und nutzen die Anlagen.

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