Lithographie
Quelle description de la résine photosensible est correcte ?
- AUn adhésif pour fixer le wafer
- BUn métal utilisé pour les interconnexions
- CUn matériau photosensible dont les propriétés changent sous la lumière, devenant plus ou moins soluble dans le développeur
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Réponse : C. Un matériau photosensible dont les propriétés changent sous la lumière, devenant plus ou moins soluble dans le développeur
La résine photosensible est une résine dont les propriétés chimiques changent sous l'effet de la lumière, enduite sur une épaisseur de quelques dizaines de nm à quelques µm. Dans une résine positive, les zones exposées se dissolvent dans le développeur ; dans une résine négative, elles subsistent. Outre le transfert du motif, elle sert de masque protégeant la sous-couche lors de la gravure ou de l'implantation ionique ; la conception de matériaux conciliant résolution, sensibilité et résistance à la gravure est donc essentielle, et les entreprises japonaises détiennent de fortes parts de ce marché.