Lithographie
Que signifie le « demi-pas » (half pitch), utilisé comme indicateur de miniaturisation ?
- ALa moitié de la longueur d'un côté de la puce
- BLa moitié du diamètre du wafer
- CLa moitié de la période (pas) constituée d'une ligne et d'un espace d'un motif répétitif
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Réponse : C. La moitié de la période (pas) constituée d'une ligne et d'un espace d'un motif répétitif
Dans un motif où lignes et espaces se répètent, la longueur d'une ligne et d'un espace est le pas, et sa moitié est le demi-pas. Si la largeur de ligne et l'espace sont égaux, le demi-pas est égal à la largeur de ligne. Autrefois, le demi-pas de la DRAM servait de nom de génération (par exemple génération 90 nm). La limite de résolution étant déterminée par le pas, la miniaturisation des logiques se compare aujourd'hui par le pas minimal d'interconnexion ou le pas de grille (CPP).