Lithographie
Quelle est la longueur d'onde de la lumière utilisée en lithographie par laser excimère KrF ?
- AEnviron 13,5 nm
- BEnviron 193 nm
- CEnviron 248 nm
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Réponse : C. Environ 248 nm
La longueur d'onde du laser excimère KrF (fluorure de krypton) est d'environ 248 nm ; utilisé à partir de la génération 0,25 µm (fin des années 1990), il s'est répandu avec les résines à amplification chimique. Un laser excimère est une source émettant un intense rayonnement ultraviolet à partir de molécules à l'état excité (excimères) formées d'un gaz rare et d'un halogène. La longueur d'onde a ensuite été réduite à l'ArF (193 nm) puis à l'EUV (13,5 nm), mais le KrF reste largement utilisé pour les couches peu exigeantes et une partie des mémoires.