Français
Menu

Lithographie

Quelle méthode développe une résine positive à amplification chimique avec un solvant organique pour dissoudre les zones non exposées ?

  1. ADéveloppement en tonalité positive
  2. BLithographie EUV
  3. CDéveloppement en tonalité négative (NTD)
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : C. Développement en tonalité négative (NTD)

Le développement en tonalité négative utilise une résine positive à amplification chimique, mais dissout les zones non exposées avec un développeur à solvant organique (acétate de butyle, etc.) et conserve les zones exposées. Pour les tranchées fines ou les petits trous, le contraste de l'image est meilleur lorsque les zones claires du masque sont réduites (champ sombre) ; on l'utilise donc pour former les trous de contact et les tranchées d'interconnexion en ArF à immersion. Le faible gonflement de la résine est un autre avantage.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Lithographie

  1. Quel est l'avantage des résines contenant des oxydes métalliques, en développement pour la lithographie EUV ?
  2. Quelle technique de formation de motifs exploite la propriété des copolymères à blocs de former spontanément des motifs fins et réguliers ?
  3. Quel est le rôle de la lithographie dans la fabrication des semi-conducteurs ?
  4. Quel est le sens originel du mot « lithographie » ?
  5. Quelle description de la résine photosensible est correcte ?

Comparatifs sur ce thème