Lithografie

Wie heißt der Bereich von Bedingungen, in dem die Strukturmaße auch bei Änderung von Belichtungsdosis und Fokus innerhalb des Toleranzbereichs bleiben?

  1. AProzessfenster (Process Window)
  2. BOverlay
  3. CLinienkantenrauheit
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Antwort: A. Prozessfenster (Process Window)

Das Prozessfenster ist der Bereich, in dem die Strukturmaße auch bei Änderung von Belichtungsdosis und Fokus im Toleranzbereich (z. B. ±10 % des Zielwerts) bleiben, und wird in einem Diagramm (ED-Window) mit der Dosis auf der vertikalen und dem Fokus auf der horizontalen Achse dargestellt. In der Serienfertigung schwanken Dosis und Fokus durch Anlagenstreuung, Waferunebenheiten und Änderungen der Resistdicke; je größer das Fenster, desto stabiler kann gefertigt werden. OPC und die Optimierung der Beleuchtungsbedingungen dienen hauptsächlich dazu, es zu erweitern.

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