Lithografie

Wie heißt die Technik, bei der eine Form (Mold) mit feinen Strukturen auf Resist gedrückt wird, um das Muster zu übertragen?

  1. AElektronenstrahllithografie
  2. BEUV-Belichtung
  3. CNanoimprint-Lithografie
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Antwort: C. Nanoimprint-Lithografie

Bei der Nanoimprint-Lithografie wird eine Form (Template) mit Reliefstruktur auf flüssigen Resist auf dem Wafer gedrückt, mit UV-Licht ausgehärtet und dann abgehoben, sodass die Form abgebildet wird. Es gibt keine Beugungsgrenze des Lichts, Strukturen im 10-nm-Bereich lassen sich übertragen, und da keine teure Optik nötig ist, sind Anlagenkosten und Energieverbrauch gering. Canon hat Anlagen für die Serienfertigung entwickelt, und der praktische Einsatz u. a. bei 3D-NAND wird vorangetrieben, doch Defektunterdrückung und Überlagerung sind Herausforderungen.

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