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Lithographie

Quel est le principal objectif du film antireflet (BARC) appliqué sous la résine ?

  1. AAccélérer la gravure
  2. BLimiter les ondes stationnaires dans la résine et les variations de dimensions dues à la lumière réfléchie par la sous-couche
  3. CColler la résine au wafer
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Réponse : B. Limiter les ondes stationnaires dans la résine et les variations de dimensions dues à la lumière réfléchie par la sous-couche

Lorsque la lumière d'exposition traverse la résine et se réfléchit sur la sous-couche, elle interfère avec la lumière incidente et crée des ondes stationnaires (stries verticales) dans la résine ; de légères variations d'épaisseur de résine font varier périodiquement la quantité de lumière absorbée et les dimensions (courbe d'oscillation), et la lumière réfléchie obliquement par les marches de la sous-couche amincit les motifs. Le BARC est un film absorbant organique ou inorganique qui limite la réflexion de la sous-couche à moins de 1 % et améliore la précision dimensionnelle.

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