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Implantation ionique

Dans un implanteur ionique typique, quel est l'ordre correct de passage des ions ?

  1. ASource d'ions → analyse de masse → section d'accélération → balayage → wafer
  2. BSection d'accélération → source d'ions → analyse de masse → wafer
  3. CAnalyse de masse → source d'ions → wafer → section d'accélération
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Réponse : A. Source d'ions → analyse de masse → section d'accélération → balayage → wafer

La source d'ions transforme le gaz en plasma et en extrait les ions, l'aimant d'analyse de masse sélectionne uniquement les ions visés, et la section d'accélération les porte à l'énergie requise. Le faisceau est ensuite balayé pour implanter uniformément toute la surface du wafer, et la dose est mesurée par cage de Faraday. Selon l'équipement, l'ordre peut différer : accélération avant analyse, ou transport à haute énergie puis décélération finale.

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