Welche Reihenfolge, in der Ionen eine übliche Ionenimplantationsanlage durchlaufen, ist korrekt?

Antwort: A. Ionenquelle → Massenanalyse → Beschleunigung → Scan → Wafer

In der Ionenquelle wird Gas zu Plasma und werden Ionen extrahiert, der Massenanalysemagnet wählt nur die gewünschten Ionen aus, und die Beschleunigungsstrecke beschleunigt sie auf die benötigte Energie. Danach wird der Strahl gescannt, um den gesamten Wafer gleichmäßig zu implantieren, und die Dosis wird mit dem Faraday-Becher gemessen. Je nach Anlage ist die Reihenfolge anders, etwa wird zuerst beschleunigt und dann analysiert, oder mit hoher Energie transportiert und zuletzt abgebremst.