이온 주입
일반적인 이온 주입 장치에서 이온이 지나가는 순서로 올바른 것은 무엇인가?
- A이온 소스 → 질량 분석 → 가속부 → 주사 → 웨이퍼
- B가속부 → 이온 소스 → 질량 분석 → 웨이퍼
- C질량 분석 → 이온 소스 → 웨이퍼 → 가속부
정답과 해설 보기
정답: A. 이온 소스 → 질량 분석 → 가속부 → 주사 → 웨이퍼
이온 소스에서 가스를 플라즈마로 만들어 이온을 꺼내고, 질량 분석 자석으로 목적 이온만 고르며, 가속부에서 필요한 에너지까지 가속합니다. 그 후 빔을 주사하여 웨이퍼 전면에 균일하게 주입하고, 패러데이 컵으로 도즈를 측정합니다. 장치에 따라서는 먼저 가속한 뒤 분석하거나, 고에너지로 운반하여 마지막에 감속하는 등 순서가 다릅니다.
- A. 올바릅니다. 이온 소스에서 시작하여 선별·가속·주사를 거쳐 웨이퍼에 도달합니다.
- B. 이온을 만들기 전에 가속할 수는 없습니다.
- C. 이온 소스보다 앞에서 질량 분석을 할 수는 없습니다.