Wat is de juiste volgorde waarin ionen door een gangbare ionenimplanter gaan?

Antwoord: A. Ionenbron → massa-analyse → versnellingsdeel → scannen → wafer

In de ionenbron wordt gas tot plasma gemaakt en worden ionen onttrokken, een massa-analysemagneet selecteert alleen de gewenste ionen en het versnellingsdeel versnelt ze tot de benodigde energie. Daarna wordt de bundel gescand en uniform over de hele wafer geïmplanteerd, en de dosis wordt met een Faraday-cup gemeten. Afhankelijk van het apparaat verschilt de volgorde, bijvoorbeeld eerst versnellen en dan analyseren, of met hoge energie transporteren en aan het eind afremmen.