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Implantation ionique

Dans un implanteur ionique, quel composant mesure le courant de faisceau pour déterminer la quantité d'ions implantés (dose) ?

  1. ACage de Faraday
  2. BMicrolentille
  3. CPellicule
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Réponse : A. Cage de Faraday

La cage de Faraday est une électrode en forme de coupelle qui reçoit le faisceau d'ions et mesure sa charge sous forme de courant. La charge par ion étant connue, l'intégration du courant dans le temps donne le nombre d'ions implantés (dose), et l'implantation est arrêtée lorsque la cible est atteinte. Si les électrons secondaires émis par l'impact du faisceau s'échappent, le courant est mal mesuré ; la structure confine donc les électrons par champ magnétique ou électrodes.

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