Nederlands
Menu

Ionenimplantatie

Welk onderdeel van een ionenimplanter meet de bundelstroom om de hoeveelheid geïmplanteerde ionen (dosis) te bepalen?

  1. AFaraday-cup
  2. BMicrolens
  3. CPellicle
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Faraday-cup

Een Faraday-cup is een bekervormige elektrode die de ionenbundel opvangt en de lading als stroom meet. Omdat de lading per ion bekend is, kan door integratie van de stroom over de tijd het aantal geïmplanteerde ionen (de dosis) worden bepaald en wordt de implantatie gestopt als het doel is bereikt. Als secundaire elektronen die bij het bundelinslag vrijkomen kunnen ontsnappen, wordt de stroom verkeerd gemeten, dus heeft de cup een structuur die elektronen met een magnetisch veld of elektroden insluit.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Ionenimplantatie

  1. Wat is het belangrijkste doel van het samen met boor implanteren (co-implantatie) van onder meer koolstof bij het maken van een ondiepe p-junctie?
  2. Welk gas wordt kenmerkend gebruikt in de ionenbron van een ionenimplanter om boorionen te maken?
  3. Welk voorbeeld van een toepassing van ionenimplantatie met hoge energie tot enkele MeV is juist?
  4. Als dopeerstof met een dosis van 1×10¹⁵ cm⁻² uniform over een diepte van 100 nm is verdeeld, hoe groot is dan de gemiddelde concentratie ongeveer?
  5. Welke ionenimplantatie wordt gebruikt voor het afsplitsen van wafers (Smart Cut) en voor lifetimecontrole in vermogenscomponenten?

Vergelijkingen bij dit onderwerp