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Implantation ionique

Quel gaz est typiquement utilisé dans la source d'ions d'un implanteur pour produire des ions bore ?

  1. ATrifluorure de bore (BF3)
  2. BArgon
  3. COxygène
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Réponse : A. Trifluorure de bore (BF3)

Dans la source d'ions, un gaz comme le BF3 est décomposé et ionisé par décharge en arc ou par électrons thermoïoniques pour produire des ions B⁺, BF2⁺, etc., extraits par un champ électrique. On utilise la phosphine (PH3) pour le phosphore, l'arsine (AsH3) pour l'arsenic et le GeF4 pour le germanium, etc. Tous étant très toxiques, on utilise à la place des bouteilles haute pression des conteneurs sûrs qui les maintiennent à basse pression sur un adsorbant pour limiter les fuites. Les ions visés sont sélectionnés par l'analyseur de masse.

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