이온 주입

이온 주입 장치에서 주입한 이온의 양(도즈)을 구하기 위해 빔 전류를 측정하는 부품은 무엇인가?

  1. A패러데이 컵
  2. B마이크로렌즈
  3. C펠리클
정답과 해설 보기

정답: A. 패러데이 컵

패러데이 컵은 이온 빔을 받아 그 전하를 전류로 측정하는 컵 모양의 전극입니다. 이온 1개당 전하는 알려져 있으므로 전류를 시간으로 적분하면 주입한 이온의 수(도즈량)를 구할 수 있고, 목표에 도달하면 주입을 멈춥니다. 빔이 닿아 나오는 2차 전자가 빠져나가면 전류를 잘못 측정하게 되므로, 자기장이나 전극으로 전자를 가두는 구조로 되어 있습니다.

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