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Implantation ionique

À conditions de recuit identiques, que devient généralement la résistance carrée de la couche implantée lorsqu'on augmente la dose ?

  1. AElle diminue
  2. BElle augmente
  3. CElle ne change pas
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Réponse : A. Elle diminue

Plus la dose est élevée, plus la quantité totale d'impuretés et donc de porteurs augmente dans la couche implantée, et la résistance carrée diminue. La résistance carrée vaut environ « 1/(q × dose active × mobilité moyenne) », de l'ordre de 100 Ω/□ pour 10¹⁵ cm⁻². Cependant, au-delà de la solubilité limite des impuretés, la part d'impuretés non activées augmente et la mobilité baisse, si bien qu'augmenter la dose réduit de moins en moins la résistance carrée.

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