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Implantation ionique

À quoi faut-il veiller lorsqu'on utilise une résine photosensible comme masque d'implantation ionique ?

  1. APlus la résine est mince, mieux c'est
  2. BIl n'est pas nécessaire de retirer la résine après l'implantation
  3. CUne épaisseur suffisante par rapport à l'énergie d'implantation est nécessaire pour que les ions ne traversent pas la résine
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Réponse : C. Une épaisseur suffisante par rapport à l'énergie d'implantation est nécessaire pour que les ions ne traversent pas la résine

Une résine trop mince laisse les ions énergétiques la traverser et atteindre les zones masquées. La résine étant peu dense, les ions y pénètrent plus profondément que dans le silicium ; une épaisseur de plusieurs fois le parcours des ions (Rp + quelques ΔRp) est généralement nécessaire, et les implantations de l'ordre du MeV utilisent des résines épaisses de quelques µm à environ 10 µm. Lors des implantations à forte dose, la surface de la résine se carbonise et durcit, ce qui la rend difficile à retirer ; il faut donc aussi soigner les conditions d'ashing.

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