Wie ändert sich der Schichtwiderstand der implantierten Schicht im Allgemeinen, wenn bei gleichen Ausheilbedingungen die Dosis der Ionenimplantation erhöht wird?

Antwort: A. Er sinkt

Je größer die Dosis, desto größer die Gesamtmenge an Dotierstoff in der implantierten Schicht und desto mehr Ladungsträger, sodass der Schichtwiderstand sinkt. Der Schichtwiderstand beträgt ungefähr „1/(q × aktive Dosis × mittlere Beweglichkeit)“, als Richtwert etwa 100 Ω/□ bei 10¹⁵ cm⁻². Wird jedoch die Löslichkeit des Dotierstoffs überschritten, nimmt der nicht aktivierbare Anteil zu und die Beweglichkeit sinkt, sodass der Schichtwiderstand bei weiterer Dosiserhöhung kaum noch abnimmt.