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Implantation ionique

Quel type d'implanteur ionique est utilisé pour implanter de fortes doses en peu de temps, comme pour la formation de la source et du drain ?

  1. AImplanteur haute énergie
  2. BImplanteur fort courant (high current)
  3. CImplanteur moyen courant
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Réponse : B. Implanteur fort courant (high current)

Les implanteurs ioniques se classent selon le courant de faisceau et l'énergie en types fort courant, moyen courant et haute énergie. Pour les implantations à forte dose d'environ 10¹⁵ ions/cm², comme la source, le drain ou la grille en polysilicium, on utilise le type fort courant, capable de fournir des faisceaux de quelques mA à quelques dizaines de mA ; la clé est de transporter un faisceau basse énergie et fort courant sans qu'il s'étale. Le moyen courant sert à l'ajustement de seuil et aux halos, et la haute énergie aux caissons profonds notamment.

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