이온 주입

같은 어닐링 조건에서 이온 주입의 도즈량을 늘리면 주입층의 면저항은 일반적으로 어떻게 되는가?

  1. A낮아진다
  2. B높아진다
  3. C변하지 않는다
정답과 해설 보기

정답: A. 낮아진다

도즈량이 많을수록 주입층의 불순물 총량이 늘어 캐리어도 늘어나므로 면저항은 낮아집니다. 면저항은 대략 '1/(q × 활성 도즈 × 평균 이동도)'이며, 10¹⁵ cm⁻²에서 100 Ω/□ 전후가 기준입니다. 다만 불순물의 고용도를 넘으면 활성화되지 못하는 불순물이 늘어나고 이동도도 낮아지므로, 도즈량을 늘려도 면저항은 잘 낮아지지 않게 됩니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

이온 주입의 다른 문제

  1. 이온 주입의 마스크로 포토레지스트를 사용할 때 주의해야 할 점은 무엇인가?
  2. 웨이퍼를 도펀트를 포함한 플라즈마에 직접 노출시켜 저에너지 이온을 주입하는 플라즈마 도핑의 이점으로 올바른 것은 무엇인가?
  3. 웨이퍼를 기울여 이온 주입을 할 때, 레지스트 등 높은 패턴의 그늘이 되어 주입되지 않는 부분이 생기는 현상을 무엇이라 하는가?
  4. 어닐링으로 도펀트를 활성화할 때 전기적으로 활성화할 수 있는 농도의 상한을 결정하는 성질은 무엇인가?
  5. 레이저 어닐링의 특징으로 올바른 것은 무엇인가?

이 분야의 비교