離子佈植 在相同退火條件下，增加離子佈植的劑量時，佈植層的片電阻一般會如何變化？ A下降 B上升 C不變 查看答案與解析 正確答案：A. 下降 劑量越大，佈植層的雜質總量增加，載子也隨之增加，因此片電阻下降。片電阻大約為「1/(q × 活性劑量 × 平均遷移率)」，10¹⁵ cm⁻²時約為100 Ω/□前後。然而一旦超過雜質的固溶度，無法活化的雜質增加，遷移率也會下降，因此即使增加劑量，片電阻也不易再下降。