이온 주입

소스·드레인 형성처럼 큰 도즈량을 짧은 시간에 주입하기 위해 사용되는 이온 주입 장치는 무엇인가?

  1. A고에너지 주입 장치
  2. B고전류(하이 커런트) 주입 장치
  3. C중전류 주입 장치
정답과 해설 보기

정답: B. 고전류(하이 커런트) 주입 장치

이온 주입 장치는 다루는 빔 전류와 에너지에 따라 고전류형, 중전류형, 고에너지형으로 나뉩니다. 소스·드레인이나 폴리실리콘 게이트처럼 10¹⁵ ions/cm² 전후의 고도즈 주입에는 수 mA~수십 mA의 빔을 낼 수 있는 고전류형이 사용되며, 저에너지·대전류 빔을 퍼지지 않게 운반하는 기술이 핵심입니다. 중전류형은 문턱 전압 조정이나 할로, 고에너지형은 깊은 웰 등에 사용됩니다.

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