在離子佈植機中，利用磁場僅選出目標離子種類的部分為下列何者？

正確答案：C. 質量分析部

離子源中除了目標離子外，也會產生其他離子與分子離子（例如由BF3產生B⁺、BF⁺、BF2⁺等），因此以質量分析部利用磁場使離子的軌道彎曲。彎曲的程度取決於質量與電荷比，所以只有目標離子能通過出口的狹縫而被選出。若混入質量相同的其他元素就會造成污染，需特別注意。選出的離子經加速、掃描後佈植到晶圓。