이온 주입

이온 주입 장치에서 자기장을 이용해 목적한 이온종만 골라내는 부분은 무엇인가?

  1. A이온 소스
  2. B엔드 스테이션(웨이퍼 처리실)
  3. C질량 분석부
정답과 해설 보기

정답: C. 질량 분석부

이온 소스에서는 목적 이외의 이온이나 분자 이온(예: BF3에서 B⁺, BF⁺, BF2⁺ 등)도 발생하므로, 질량 분석부에서 자기장으로 이온의 궤도를 휘게 합니다. 휘는 정도는 질량 대 전하의 비로 정해지므로, 출구 슬릿을 통과하는 목적 이온만 골라낼 수 있습니다. 질량이 같은 다른 원소가 섞이면 오염이 되므로 주의가 필요합니다. 선택된 이온은 가속·주사되어 웨이퍼에 주입됩니다.

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