Ionenimplantatie
Welk deel van een ionenimplanter selecteert met een magnetisch veld alleen de gewenste ionensoort?
- AIonenbron
- BEindstation (waferverwerkingskamer)
- CMassa-analysator
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Massa-analysator
In de ionenbron ontstaan ook andere ionen dan gewenst en moleculaire ionen (bijvoorbeeld B⁺, BF⁺ en BF2⁺ uit BF3), dus buigt de massa-analysator met een magnetisch veld de baan van de ionen. De mate van buiging wordt bepaald door de verhouding tussen massa en lading, zodat alleen de gewenste ionen die door de spleet aan de uitgang passen, worden geselecteerd. Als een ander element met dezelfde massa meekomt, ontstaat contaminatie, dus daar is voorzichtigheid geboden. De geselecteerde ionen worden versneld, gescand en in de wafer geïmplanteerd.