Welcher Teil einer Ionenimplantationsanlage wählt mit einem Magnetfeld nur die gewünschte Ionenart aus?

Antwort: C. Massenanalysator

In der Ionenquelle entstehen auch unerwünschte Ionen und Molekülionen (z. B. aus BF3 B⁺, BF⁺, BF2⁺), daher wird im Massenanalysator die Bahn der Ionen durch ein Magnetfeld gekrümmt. Die Krümmung hängt vom Verhältnis von Masse zu Ladung ab, sodass nur die gewünschten Ionen den Austrittsspalt passieren. Mischt sich ein anderes Element gleicher Masse bei, entsteht Kontamination, worauf zu achten ist. Die ausgewählten Ionen werden beschleunigt, gescannt und in den Wafer implantiert.