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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Que désigne le « nanofeuillet » d'un transistor GAA à nanofeuillets ?

  1. AUn film en feuille protégeant la puce
  2. BUn canal de silicium en plaque mince de quelques nm d'épaisseur, utilisé en empilement vertical
  3. CUne fine plaque métallique utilisée pour le diélectrique de grille
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Réponse : B. Un canal de silicium en plaque mince de quelques nm d'épaisseur, utilisé en empilement vertical

Le nanofeuillet est un canal de silicium en plaque mince d'environ 5 nm d'épaisseur et d'une quinzaine à quelques dizaines de nm de large ; environ trois feuillets sont empilés verticalement, chacun entièrement entouré par la grille. La structure ressemble à des ailettes de FinFET couchées et empilées, et la largeur des feuillets permet d'ajuster le courant. L'espacement entre feuillets étant d'environ 10 nm, des techniques de dépôt avancées sont nécessaires pour y loger le diélectrique et le métal de grille.

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