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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Pour un FinFET dont l'ailette mesure 50 nm de haut et 6 nm de large, quelle valeur est la plus proche de la largeur de canal effective par ailette (périmètre entouré par la grille) ?

  1. A106 nm
  2. B6 nm
  3. C56 nm
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Réponse : A. 106 nm

La grille entourant les deux flancs et la face supérieure de l'ailette, la largeur de canal effective par ailette vaut 2 × hauteur + largeur = 2 × 50 + 6 = 106 nm. Avec un pas d'ailettes de 30 nm par exemple, cela représente plus de trois fois la largeur obtenue sur la même surface par un transistor planaire, et des ailettes plus hautes augmentent le courant sans accroître l'encombrement. Des ailettes trop hautes risquent toutefois de s'effondrer ou de varier à l'usinage ; des hauteurs d'environ 50 nm sont utilisées.

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