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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Que représente le k de « diélectrique de grille high-k » ?

  1. ALa dureté du cristal
  2. BLa conductivité thermique
  3. CLa permittivité relative (constante diélectrique)
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Réponse : C. La permittivité relative (constante diélectrique)

Le k de high-k est la permittivité relative ; les isolants dont elle dépasse celle du SiO2 (environ 3,9) sont appelés matériaux high-k. Les exemples typiques sont le HfO2 (environ 20 à 25) et le HfSiON, qui donnent une forte capacité de grille même avec un film physiquement épais. Les matériaux à forte permittivité tendent toutefois à avoir une bande interdite plus faible et sont choisis en compromis avec la fuite. À l'inverse, des matériaux low-k à faible permittivité sont utilisés entre les interconnexions pour réduire la capacité.

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