Transistors avancés (FinFET et GAA)

Que requiert-on généralement de la largeur des ailettes pour limiter suffisamment les effets de canal court dans un FinFET ?

  1. AElle peut être fixée indépendamment de la longueur de grille
  2. BElle doit être nettement plus grande que la longueur de grille
  3. CElle doit être plus petite que la longueur de grille
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Réponse : C. Elle doit être plus petite que la longueur de grille

Plus l'ailette est fine, mieux le champ des grilles latérales atteint son centre, ce qui limite la fuite passant par les zones éloignées de la grille. À titre indicatif, la largeur d'ailette doit être comprise entre la moitié et environ la longueur de grille au plus ; elle atteint environ 5 à 7 nm dans les nœuds avancés. Trop fine, cependant, elle pose des problèmes de variation du seuil par confinement quantique, de baisse de mobilité par diffusion de surface et de dispersion d'usinage.

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