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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Quel est le rôle principal de l'isolant (espaceur interne) placé, dans un GAA à nanofeuillets, entre la grille et les sources/drains entre chaque feuillet ?

  1. ARéduire la capacité parasite entre la grille et les sources/drains et éviter les courts-circuits
  2. BFaire émettre de la lumière au canal
  3. CAmplifier le courant
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Réponse : A. Réduire la capacité parasite entre la grille et les sources/drains et éviter les courts-circuits

Dans un GAA à nanofeuillets, la grille s'insère dans les espaces entre feuillets et fait face aux sources/drains à quelques nm de distance. L'espaceur interne est un isolant, par exemple un nitrure, remplissant l'espace créé en creusant légèrement les extrémités du SiGe (recess) ; il réduit la capacité parasite entre grille et sources/drains et évite les courts-circuits. Il sert aussi d'arrêt de gravure protégeant les sources/drains lors du retrait du SiGe.

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